深圳MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書(shū)
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical System,簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS),是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的電子機(jī)械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產(chǎn)、…
2021-03-19 09:10:11