在“工業(yè)過程自動控制”項目中，“敏感元件及傳感器開發(fā)”作為攻關課題進行攻關。

開發(fā)擴散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝，以及薄膜濺射工藝，厚膜漿料配制及元件刻蝕、調阻等傳感器制造的新工藝。

開發(fā)了17種新型敏感材料，使敏感材料依靠國外的局面有了很大的改善。

擴散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產(chǎn)品，進行了小批量生產(chǎn)，并在電站故障診斷系統(tǒng)等工程中應用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進行硅壓力傳感器的中試生產(chǎn)，產(chǎn)品的技術水平與當時國外同類產(chǎn)品水平相當。 

“八五”期間：加強傳感技術研究，開展“批量生產(chǎn)研究”

“傳感器技術研究”列為國家科技攻關。以“3-5-3”的原則安排，即以工業(yè)控制、測試儀器和機電一體化為服務對象，選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關重點，形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、 哈爾濱49所三個傳感器研發(fā)中心。

取得新技術、新工藝37項，開發(fā)了74個品種132規(guī)格的新產(chǎn)品，獲得國家專利15項。攻關期間銷售各類傳感器2360萬只，銷售收入13711萬元，創(chuàng)匯214萬美元。

首次開發(fā)了InSb磁敏薄膜和霍爾元件；小型廉價壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器等產(chǎn)品開始批量生產(chǎn)。

“九五”期間： “工程化研究”正式立項

“傳感器技術研究”繼續(xù)列為國家重點科技攻關項目。攻關以提高技術水平、可靠性水平和產(chǎn)業(yè)化程度為目標，以市場需求為導向，進行工程化、新產(chǎn)品開發(fā)、共性關鍵技術研究。

獲得科技成果59項，有6項成果進行了技術轉讓，取得專利32 項，其中發(fā)明專利7項。攻關期間累計銷售各類傳感器1260萬只，銷售收入25218萬元，創(chuàng)匯907萬美元。

工業(yè)變送器用硅壓力傳感器、OEM通用壓力傳感器、厚膜壓力傳感器、石英諧振式稱重傳感器、InSb霍爾元件、厚膜鉑電阻，α-Fe203可燃氣體傳感器、廉價濕度傳感器進行工程化研究，18個品種75個規(guī)格新型傳感器中試生產(chǎn)，年生產(chǎn)能力2257萬只，石英諧振式稱重傳感器的批量生產(chǎn)在國內外屬于首創(chuàng)，開發(fā)了兩大系列7個品種的電子衡器，建立了深圳清華傳感設備公司。

微機械加工（MEMS）工藝在壓力傳感器的生產(chǎn)中得到實際應用。解決了擴散硅芯片的穩(wěn)定性和免補償工藝，提高了可補性、穩(wěn)定性、一致性，成品率80%。實現(xiàn)4英寸片批量生產(chǎn)工藝。

InSb磁敏薄膜芯片的制備工藝由化合物蒸鍍過渡到In和Sb的單質蒸鍍，成品率達到60%，在南京中旭微電子公司進行生產(chǎn)。

完成了51個品種、72個規(guī)格的新產(chǎn)品開發(fā)。微壓傳感器、高溫硅集成開關、快響應電流傳感器、硅集成線性傳感器、電化學CO傳感器、低濃度NO2傳感器、長壽命高分子濕度傳感器、低功耗氣體傳感器、小型固態(tài)PH傳感器等新產(chǎn)品進行批量生產(chǎn)。在突破關鍵技術之后，建立了新疆傳感器公司和武漢湖北中邦電子有限公司，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)超小型NTC熱敏電阻、過載保護用PTC熱敏電阻。

“十五”期間：“產(chǎn)業(yè)化研究”成為攻關重要內容

 “先進制造基礎件開發(fā)研究和應用”中，傳感器產(chǎn)業(yè)化技術研究是該項目的重要攻關內容之一，列了三個專題，分別是：

——差壓、靜壓、溫度三參數(shù)一體化多功能傳感器產(chǎn)業(yè)化技術，為國內智能工業(yè)變送器配套。年生產(chǎn)能力達到2萬只；

——低功耗強磁體薄膜磁阻器件系列產(chǎn)品開發(fā)，為工業(yè)計量儀表配套。年生產(chǎn)能力達到50萬只；

——可靠性增長技術研究，實現(xiàn)上述兩種傳感器的可靠性增長。一體化多功能傳感器達到5萬小時，低功耗強磁體薄膜磁阻器件達到六級。

“十一五”至今

“傳感器的規(guī)模化產(chǎn)業(yè)化問題”成為傳感器的熱點，引起多方關注。