第1年
HVA 矩形閥 28200系列
上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 350
上海伯東 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 700
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 80 Neo
上海伯東普發(fā) Pfeiffer 售后維修服
- 材質(zhì)：
- 不銹鋼
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80
上海伯東銷售維修德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對(duì)所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè). 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風(fēng)冷, 多種配件可選滿足廣泛應(yīng)用.
渦輪分子泵 HiPace 80 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證
渦輪分子泵 HiPace 80 技術(shù)參數(shù)
進(jìn)氣口 | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | |
圖片 |
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分子泵控制器 | 型號(hào) | 標(biāo)配 | 標(biāo)配 | 標(biāo)配 | 選配 | 選配 | 選配 |
抽速 | Ar L/S | 66 | 66 | 30 | 66 | 66 | 30 |
H2 L/S | 48 | 48 | 38 | 48 | 48 | 38 | |
He L/S | 58 | 58 | 41 | 58 | 58 | 41 | |
N2 L/S | 67 | 67 | 35 | 67 | 67 | 35 | |
壓縮比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | |
He | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量 | Ar hPa l/s | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 |
H2 hPa l/s | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | |
He hPa l/s | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | |
N2 hPa l/s | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | |
極限壓力 | hPa | ＜1X10-7 | ＜5X10-10 | ＜1X10-7 | ＜1x10-7 | ＜5x10-10 | ＜1x10-7 |
最大預(yù)抽真空 | N2 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
電壓 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
最大電流 | A | 4.6 | 4.6 | 4.6 | 5.5 | 4.6 | 4.6 |
轉(zhuǎn)速± 2 % | RPM | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 |
聲噪 | dB(A) | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 |
允許最大磁場 | mT | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | 1.7 | 1.7 | 1.7 | 3 | 3 | 3 |
重量 | kg | 2.4 | 3.8 | 2.4 | 2.1 | 3.5 | 2.1 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 套裝:
上海伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一臺(tái) HiPace 80 分子泵主機(jī)和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應(yīng)用, 可以安裝在所有情況下并輕松調(diào)試渦輪分子泵. 套裝內(nèi)配置如下:
分子泵 | 分子泵電源與控制器連接線 | 風(fēng)扇 | OmniControl 200 | 接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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| 接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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分子泵應(yīng)用 HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備.JPG)
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體.JPG)
渦輪分子泵 HiPace 80 目前在售型號(hào)：
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 電源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 63 CF-F
分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 電源 OPS 70 DN 40 ISO-KF
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上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>
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